热解化学气相沉积（关于热解化学气相沉积的简述）

谈到热解化学气相沉积，有许多人不了解，那么下面来看看小贞对热解化学气相沉积的相关介绍。

热解化学气相沉积

1、热化学气相沉积(TCVD)是指利用高温激活化学反应进行气相生长的方法。

2、广泛应用的TCVD技术如金属有机化学气相沉积、氯化物化学气相沉积、氢化物化学气相沉积等均属于热化学气相沉积的范围。

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