时间：2023-02-22 20:22:19来源：
谈到快速热退火，有许多人不了解，那么下面来看看小云对快速热退火的相关介绍。
快速热退火
1、快速—热退火(RTA)是半导体加工工艺中的一种常规技术手段。
2、一般用来激活半导体材料中的掺杂元素和将由离子注入造成的非晶结构恢复为完整晶格结构。
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